• norsk
    • English
  • norsk 
    • norsk
    • English
  • Logg inn
Vis innførsel 
  •   Hjem
  • Fakultet for informasjonsteknologi og elektroteknikk (IE)
  • Institutt for elektroniske systemer
  • Vis innførsel
  •   Hjem
  • Fakultet for informasjonsteknologi og elektroteknikk (IE)
  • Institutt for elektroniske systemer
  • Vis innførsel
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.

Techniques for structuring Lead-Lanthanum-Zirconium-Titanium

Smievoll, Silje
Master thesis
Åpne
346812_FULLTEXT01.pdf (Låst)
346812_COVER01.pdf (Låst)
Permanent lenke
http://hdl.handle.net/11250/2368946
Utgivelsesdato
2006
Metadata
Vis full innførsel
Samlinger
  • Institutt for elektroniske systemer [1529]
Sammendrag
This thesis describes different approaches for etching of Lead Lanthanum Zirconate Titanate, PLZT, and Lead Zirconate Titanate, PZT. PZT and PLZT are ceramic ferroelectric materials. They are used in applications ranging from FRAM to electro-optical devices and photonic crystal waveguides. This thesis presents the basic theory of ferroelectricity and piezoelectricity. The main ferroelectric and electro-optic properties of PLZT and PZT is then described. The background theory of pattering techniqes is presenteted. The main focus of this thesis, is on describing and comparing previous published work on PLZT and PZT etch characteristics. The findings are summarized and recommendation for suitable etch parameters given. Good etch results can be achieved in both fluorine and chlorine plasmas. Common is a chamber pressure of about 5mTorr and that the etch rate increases linearly with radical concentration and sputtering energy.
Utgiver
Institutt for elektronikk og telekommunikasjon

Kontakt oss | Gi tilbakemelding

Personvernerklæring
DSpace software copyright © 2002-2019  DuraSpace

Levert av  Unit
 

 

Bla i

Hele arkivetDelarkiv og samlingerUtgivelsesdatoForfattereTitlerEmneordDokumenttyperTidsskrifterDenne samlingenUtgivelsesdatoForfattereTitlerEmneordDokumenttyperTidsskrifter

Min side

Logg inn

Statistikk

Besøksstatistikk

Kontakt oss | Gi tilbakemelding

Personvernerklæring
DSpace software copyright © 2002-2019  DuraSpace

Levert av  Unit