Heterodyne interferometry for dynamic and static characterization of micro and nanostructures

Martinussen, Hanne
Doctoral thesis
Åpne
Permanent lenke
http://hdl.handle.net/11250/2368862
Utgivelsesdato
2009
Metadata
Vis full innførsel
Samlinger
Utgiver
Norges teknisk-naturvitenskapelige universitet, Fakultet for informasjonsteknologi, matematikk og elektroteknikk, Institutt for elektronikk og telekommunikasjon
Serie
Doktoravhandlinger ved NTNU, 1503-8181; 2009:152