Heterodyne interferometry for dynamic and static characterization of micro and nanostructures

Martinussen, Hanne
Doctoral thesis
View/Open
URI
http://hdl.handle.net/11250/2368862
Date
2009
Metadata
Show full item record
Collections
Publisher
Norges teknisk-naturvitenskapelige universitet, Fakultet for informasjonsteknologi, matematikk og elektroteknikk, Institutt for elektronikk og telekommunikasjon
Series
Doktoravhandlinger ved NTNU, 1503-8181; 2009:152