Browsing Institutt for maskinteknikk og produksjon by Author "Keilen, Maya"
Now showing items 1-1 of 1
-
Investigation of Chemical Mechanical Polishing to Enhance Feature Resolution by Atomic Layer Deposition
Keilen, Maya (Master thesis, 2020)For å designe mindre og raskere elektroniske enheter, kreves det å lage strukturer på nanometer størrelse. Å øke detaljoppløsningen ved å bygge underliggende 3D strukturer av forskjellige materialer og frigjøre disse ...