Browsing NTNU Open by Author "Flaten, Andreas"
Now showing items 1-1 of 1
-
In situ nucleation studies of ALD Copper thin films
Flaten, Andreas (Master thesis, 2020)Ettersom moderne elektroniske enheter stadig blir mindre og mer komplekse, vil ultratynne kobberfilmer med skarpe grensesnitt bli uunnværlige i fremtiden. Oppløsning på atomnivå kan oppnåes ved atom lag deponering(ALD), ...