Blar i NTNU Open på forfatter "Bjordal, Dag Skjerven"
-
Process optimization for the fabrication of an Atomic Layer Deposition reactor for in situ Transmission Electron Microscopy
Bjordal, Dag Skjerven (Master thesis, 2021)Denne master går gjennom produksjonsprosessen for ein liten ALD reaktor for "in situ" studie i eit TEM mikroskop. Innfallsvinkel er prosessopptamilersing og fabrikkering blir evaluert etter repeterbarhet, kostnad, tid, og ...